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2008/01/17
MEMSマイクロオブジェクトの精密測定を可能にするGannen-XM
発行元:MEMS Industry
オランダのXpress Precision Engineering BV は、超精密3D測定用に設計されたツール Gannen-XPの投入に続き、Gannen-XMをリリースしました。XMは、マイクロコンポーネントやMEMSの本格的な3D測定に対応できるよう最適化されています。
Xpress Precision Engineering BV の技術担当ディレクターIr. Bos氏は、「近年、マイクロコンポーネントやMEMSの3D測定に対する需要が高まっています。剛性が低く、置き換えコストが安く、探針の小さなGannen-XMは、この種の測定作業にとって理想的な製品といえます」と語っています。
Gannen-XMは、Gannen-XPのマウンティングと完全互換になっています。準備のための停止時間を最小限に抑えるため、両方に対応可能な設定にしておくことをお勧めします。Gannen-XMの探針が押す力はマイクロニュートンレンジであり、測定システムには、最小50マイクロメーターまでの探針を取り付けることができます。
Ir. Bos氏は、「マイクロコンポーネントやMEMSの領域では、品質管理や研究などのため、高度な標準に適合する測定結果が求められます。当社は、顧客がこれらの標準を達成できるよう支援したいと考えています」と語っています。
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